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| 尼康准分子激光器扫描步进机数值孔径为0.92 |
| 2004-03-24
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尼康准分子激光器扫描步进机数值孔径为0.92
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尼康(Nikon)公司的基于透镜的氟化氩(ArF)准分子激光器扫描步进机，适用于大批量生产65nm或更小工艺的器件。
分步重复系统(Step-and-Repeat System)NSR-S308F具有193nm波长的ArF准分子激光器及0.92数值孔径的投影透镜，较NSR-S307E的投影透镜更为先进。
该产品具有65nm以上精度、1:4缩小率、26×33mm曝光面积、高于8nm的定位精度。其300mm晶片的产量为每小时140片以上。该产品定价为257M美元(仅供参考)。
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